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造成renishaw激光干涉儀出現(xiàn)測量誤差的原因有哪些?

點(diǎn)擊次數(shù):2159 更新時(shí)間:2021-01-08
  renishaw激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體。儀器采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
  
  激光干涉儀雖然有這多優(yōu)勢,但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測時(shí),會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。那么,今天我們來聊一聊引起激光干涉儀測量誤差的部分原因。
  
  1、阿貝誤差
  
  因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn),引起的阿貝誤差越大。
  
  正確方式:renishaw激光干涉儀校準(zhǔn)時(shí)線性鏡組的安裝高度應(yīng)該盡量靠近被測軸,使激光光束與運(yùn)動(dòng)軸重合(或盡量靠近),減小阿貝誤差。
  
  2、環(huán)境因素
  
  環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對(duì)濕度信息,基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率,以此對(duì)激光波長進(jìn)行補(bǔ)償。
  
  同時(shí)環(huán)境補(bǔ)償單元中材料溫度探頭能實(shí)時(shí)高精度測量被測設(shè)備溫度,對(duì)其進(jìn)行溫度補(bǔ)償。但是往往因?yàn)椴僮魅藛T將材料溫度探頭放置在錯(cuò)誤的位置,致使采集的數(shù)據(jù)不能真實(shí)反映被測物體溫度狀態(tài),從而增大測量誤差。
  
  正確方式:在線性測量中,需要開啟環(huán)境補(bǔ)償單元,并正確設(shè)置補(bǔ)償材料的種類,放置材料溫度探頭的位置。在高精度的測量中,需要給予環(huán)境補(bǔ)償單元以及被測物充分的恒溫時(shí)間。
  
  3、余弦誤差
  
  激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會(huì)造成測得的距離和實(shí)際的運(yùn)動(dòng)距離之間有差異,此誤差被稱為余弦誤差。
  
  處理方法:若renishaw激光干涉儀進(jìn)行測量出現(xiàn)余弦誤差,則激光讀數(shù)將會(huì)小于原本應(yīng)有的數(shù)值。因此,通過“輕微”調(diào)整云臺(tái)的俯仰及偏轉(zhuǎn)旋鈕直到取得的激光讀數(shù),將能消除軸上的余弦誤差。
  
  4、死程誤差
  
  死程誤差是在線性測量過程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差,在正常狀況下,死程誤差并不大,而且只會(huì)發(fā)生在定標(biāo)后以及測量過程中的環(huán)境改變。
  
  處理方法:renishaw激光干涉儀在設(shè)定定標(biāo)位置時(shí),固定反射鏡和移動(dòng)鏡組應(yīng)盡量彼此鄰接,以此減小死程誤差。
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